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友臻科技
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YZ-700MS磁控濺射設備

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主要用于：主要用于各類電學膜、金屬膜（鍍金、鍍銀）、SiO2膜等的鍍制

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產品詳情


YZ-700MS 磁控濺射鍍膜機

真空室內腔尺寸：φ700mm*H500mm

真空系統(tǒng)：分子泵+雙極旋片泵

靶材系統(tǒng)：矩靶/圓靶/柱靶

濺射源：DC電源/MF電源/RF電源（13.56MHZ）

空載極限真空：8.0x10-5Pa

空載恢復真空：2x10-3Pa ≤10min

設備電源：三相   380V    50HZ

  設備重量：約3T

真空鍍膜機的內腔尺寸、泵組配置等可根據(jù)客戶的鍍膜工藝量身定制


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主要用于：主要用于各類電學膜、金屬膜（鍍金、鍍銀）、SiO2膜等的鍍制

13308020865
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YZ-700MS 磁控濺射鍍膜機

真空室內腔尺寸：φ700mm*H500mm

真空系統(tǒng)：分子泵+雙極旋片泵

靶材系統(tǒng)：矩靶/圓靶/柱靶

濺射源：DC電源/MF電源/RF電源（13.56MHZ）

空載極限真空：8.0x10-5Pa

空載恢復真空：2x10-3Pa ≤10min

設備電源：三相   380V    50HZ

  設備重量：約3T

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