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友臻科技
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YZ-1300IBS離子束濺射鍍膜機(jī)

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用途:主要適用于精密薄膜領(lǐng)域(如:激光器、反射鏡、濾光片、長(zhǎng)/短波通)等精密薄膜的鍍制
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產(chǎn)品詳情

YZ-1300IBS離子束濺射鍍膜機(jī).png

YZ-1300IBS 離子束濺射鍍膜機(jī)

真空室內(nèi)腔尺寸:φ1300mm*H1250mm

真空系統(tǒng):分子泵+雙極旋片泵+羅茨泵+POLYCOLD

靶材系統(tǒng):多靶位自動(dòng)旋轉(zhuǎn)

濺射源:雙RF

空載極限真空:8.0x10-5Pa

空載恢復(fù)真空:2x10-3Pa 10min

設(shè)備電源:三相   380V    50HZ

  設(shè)備重量:約5T

真空鍍膜機(jī)的內(nèi)腔尺寸、泵組配置等可根據(jù)客戶的鍍膜工藝量身定制



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13308020865
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靶材系統(tǒng):多靶位自動(dòng)旋轉(zhuǎn)

濺射源:雙RF

空載極限真空:8.0x10-5Pa

空載恢復(fù)真空:2x10-3Pa 10min

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