真空室內(nèi)腔尺寸：：φ700mm*H500mm

真空系統(tǒng)：分子泵+雙極旋片泵

靶源：水冷銅陰極靶+

              304水冷陽極靶

射頻源：RF電源（13.56MHZ）

                   1 KW-1.5KW

空載極限真空：8.0x10^-5Pa

空載恢復(fù)真空：2x10^-3Pa ≤15min

設(shè)備電源：三相   380V    50HZ

設(shè)備重量：約1.5T

真空鍍膜機(jī)的內(nèi)腔尺寸、泵組配置等可根據(jù)客戶的鍍膜工藝量身定制